以下材料用于此模块的流路：
部件 | 材料 |
|---|---|
脱气机内腔 | TFE/PDD 共聚物、PFA（内部管线）；PEEK（入口）；FEP（管线）；ETFE（接头） |
PFA（管线），PEEK（接头） | |
微流体结构 Footnote_Inlet Weaver | SST |
MCGV | PEEK、FEP、PFA、基于三氧化二铝的陶瓷、红宝石、蓝宝石、SST |
4CGV | PEEK、FFKM |
被动入口阀 | SST、金、红宝石、基于二氧化锆的陶瓷、钽 |
出口阀 | SST、金、红宝石、基于二氧化锆的陶瓷、钽 |
泵头 | SST |
柱塞 | 基于二氧化锆的陶瓷 |
柱塞/清洗密封垫 | UHMW-PE、SST |
压力传感器 | SST |
多用途阀 | 聚酰亚胺、SST、DLC |
[1]超清洁管线可配合高端 MS 检测器使用。它们还与 THF 相容。
[2]Inlet Weaver、Jet Weaver、热交换器
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