以下材料用于此模块的流路：
部件 | 材料 |
|---|---|
脱气机内腔 | TFE/PDD 共聚物、PFA（内部管线）、PEEK（入口）、FEP（管线）、ETFE（接头） |
MCGV | SST、PTFE、PEEK、FEP、PFA、陶瓷、蓝宝石、红宝石 |
4CGV | PEEK、FFKM |
被动入口阀 | SST、金、蓝宝石、红宝石、陶瓷、PTFE |
入口主动阀 | SST、金、蓝宝石、红宝石、陶瓷、PTFE |
出口阀 | SST、金、红宝石、基于二氧化锆的陶瓷、钽 |
转接头 | SST，金 |
泵头（主体） | SST |
柱塞 | 蓝宝石 |
柱塞杆密封垫/冲洗密封垫 | PTFE、SST（反相）或 UHMW-PE、SST（正相） |
压力传感器 | SST |
冲洗阀 | SST、金、PTFE、陶瓷 |
阻尼器单元 | SST，金 |
毛细管/接头 | SST |
管路 | PTFE |
部件 | 材料 |
|---|---|
脱气机内腔 | TFE/PDD 共聚物、PFA（内部管线）、PEEK（入口）、FEP（管线）、ETFE（接头） |
MCGV | 铂铱、钛、PTFE、PEEK、FEP、PFA、陶瓷、蓝宝石、红宝石 |
4CGV | PEEK、FFKM |
入口主动阀 | 铂铱、钛、金、蓝宝石、红宝石、陶瓷、PTFE |
出口阀 | 钛、金、红宝石、基于二氧化锆的陶瓷、钽 |
转接头 | 钛、金 |
泵头（主体） | 钛 |
柱塞 | 蓝宝石 |
柱塞杆密封垫/冲洗密封垫 | PTFE、金 |
压力传感器 | 钛 |
冲洗阀 | 钛、金、PTFE、陶瓷 |
阻尼器单元 | 钛、金 |
毛细管/接头 | 钛 |
管路 | PTFE |
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