本モジュールの接液部には以下の材質が使用されています。
部品 | 材質 |
|---|---|
デガッサチャンバ | TFE/PDD 共重合体、PFA（内部チューブ）、PEEK（インレット）、FEP（チューブ）、ETFE（フィッティング） |
ウルトラクリーンチューブFootnote_UltraCleanTubings | PFA（チューブ）、PEEK（フィッティング） |
マイクロ流体構造Footnote_Inlet Weaver | SST |
MCGV | PEEK、FEP、PFA、Al₂O3 ベースのセラミック、ルビー、サファイア、SST |
4CGV | PEEK、FFKM |
パッシブインレットバルブ | SST、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
アウトレットバルブ | SST、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
ポンプヘッド | SST |
ピストン | ZrO₂ ベースのセラミック |
ピストン/洗浄シール | UHMW-PE、SST |
圧力センサー | SST |
多目的バルブ | ポリイミド、SST、DLC |
[1]ハイエンドの MS 検出器で使用できるウルトラクリーンチューブもあります。THF との互換性もあります。
[2]Inlet Weaver、Jet Weaver、熱交換器
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