本モジュールの接液部には以下の材質が使用されています。
部品 | 材質 |
|---|---|
デガッサチャンバ | TFE/PDD 共重合体、PFA（内部チューブ）、PEEK（インレット）、FEP（チューブ）、ETFE（フィッティング） |
MCGV | SST、PTFE、PEEK、FEP、PFA、セラミック、サファイア、ルビー |
4CGV | PEEK、FFKM |
パッシブインレットバルブ | SST、ゴールド、サファイア、ルビー、セラミック、PTFE |
アクティブインレットバルブ | SST、ゴールド、サファイア、ルビー、セラミック、PTFE |
アウトレットバルブ | SST、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
アダプタ | SST、ゴールド |
ポンプヘッド（本体） | SST |
ピストン | サファイア |
ピストンシール/洗浄シール | PTFE、SST（逆相）、または UHMW-PE、SST（順相） |
圧力センサー | SST |
パージバルブ | SST、ゴールド、PTFE、セラミック |
ダンピングユニット | SST、ゴールド |
キャピラリー/フィッティング | SST |
チューブ | PTFE |
部品 | 材質 |
|---|---|
デガッサチャンバ | TFE/PDD 共重合体、PFA（内部チューブ）、PEEK（インレット）、FEP（チューブ）、ETFE（フィッティング） |
MCGV | プラチナイリジウム、チタン、PTFE、PEEK、FEP、PFA、セラミック、サファイア、ルビー |
4CGV | PEEK、FFKM |
アクティブインレットバルブ | プラチナイリジウム、チタン、ゴールド、サファイア、ルビー、セラミック、PTFE |
アウトレットバルブ | チタン、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
アダプタ | チタン、ゴールド |
ポンプヘッド（本体） | チタン |
ピストン | サファイア |
ピストンシール/洗浄シール | PTFE、ゴールド |
圧力センサー | チタン |
パージバルブ | チタン、ゴールド、PTFE、セラミック |
ダンピングユニット | チタン、ゴールド |
キャピラリー/フィッティング | チタン |
チューブ | PTFE |
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