本モジュールの接液部には以下の材質が使用されています。
部品 | 材質 |
|---|---|
デガッサチャンバ | TFE/PDD 共重合体、PFA（内部チューブ）、PEEK（インレット）、FEP（チューブ）、ETFE（フィッティング） |
ウルトラクリーンチューブ Footnote: Ultra clean tubings are available | PFA（チューブ）、PEEK（フィッティング） |
SST | |
SSV | FFKM、PEEK |
パッシブインレットバルブ | SST、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
アウトレットバルブ | SST、ゴールド、ルビー、ZrO₂ ベースのセラミック、タンタル |
ポンプヘッド | SST |
ピストン | ZrO₂ ベースのセラミック |
ピストン/洗浄シール | UHMW-PE、SST |
圧力センサー | SST |
自動パージバルブ | ポリイミド、SST、DLC |
[1]ハイエンドの MS 検出器で使用できるウルトラクリーンチューブもあります。THF との互換性もあります。
[2]Jet Weaver、熱交換器
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