計量シールとピストンの交換

Agilent Lab Advisor ソフトウェアで、サービス & 診断 > メンテナンスポジション > 計量シールとピストンの交換 の順に選択し、開始 をクリックして、計量プランジャーがメンテナンスポジションに移動するまで待ちます。

またはローカルコントローラーでメンテナンスモードを開始し、計量デバイスの交換 を選択します。

シール挿入ツールを使用して、シールを慎重に取り外します。

リントフリークロスと、イソプロパノールなどの適切な溶媒を使用してチャンバとプランジャーをクリーニングします。プランジャーに傷や損傷の兆候がないか確認し、必要に応じて交換します。すべての微粒子がチャンバから取り除かれたことを確認します。

シール挿入ツールのプラスチック側を使用して、新しいシールを取り付けます。所定の位置にシールをしっかり押し込みます。

Lab Advisor で 次へ をクリックしてピストンを通常の位置に戻し、戻る をクリックしてメンテナンス作業を完了します。

またはローカルコントローラで Continue をクリックしてピストンを通常の位置に戻し、Exit をクリックしてメンテナンス作業を完了します。

システム圧力テスト を実行します。